تأثير متغيرات التشغيل بالتفريغ الكهربائي على سمك الطبقة المعاد سبكها. DJES [Internet]. 2011 Dec. 1 [cited 2025 Apr. 8];4(2):37-46. Available from: https://djes.info/index.php/djes/article/view/583